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 Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium 离子束刻蚀对裸铍和硅覆盖铍表面粗糙度的影响
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Н. И. Чхало; М. S. Mikhaylenko; Alexei V. Milkov; А. Е. Пестов; В. Н. Полковников; et al 出版日期：2017-05-31 |
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