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Fabrication and characterization of silicon SPADs with doping compensated avalanche region 掺杂补偿雪崩区硅SPADs的制备与表征
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期刊:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research 作者:Anran Guo; Huaping Ma; Ruizhi Li; Yuwei Chen; Jing Fu; et al 出版日期:2024-03-19 |
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