Generation of multi-level microstructures using a wavelength-selective photoresist and mask-less grayscale lithography

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标题	Generation of multi-level microstructures using a wavelength-selective photoresist and mask-less grayscale lithography 使用波长选择性光刻胶和无掩模灰度光刻产生多级微结构相关领域光刻胶材料科学灰度平版印刷术抵抗光学光刻光电子学微流控纳米技术物理像素图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2544658
DOI	10.1117/12.2544658 doi
其它	期刊：作者：Andrea Kick; Dorothea Helmer; Frederik Kotz; Bastian E. Rapp 出版日期：2020-02-21
求助人	奥观海在 2023-09-21 17:58:16 发布，悬赏 10 积分
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