标题 |
Advanced process control loop for SAQP pitch walk with combined lithography, deposition and etch actuators
具有组合光刻、沉积和蚀刻致动器的SAQP沥青步进的先进过程控制回路
相关领域
材料科学
抵抗
平版印刷术
执行机构
制作
过程(计算)
卷到卷处理
蚀刻(微加工)
光刻胶
薄脆饼
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网址 | |
DOI |
10.1117/12.2552911
doi
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其它 |
期刊: 作者:Huan Ren; Antonio Mani; Sixiao Han; Xin Li; Xuemei Chen; et al 出版日期:2020-03-24 |
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