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标题
Power spectral density as template for modeling a metal-oxide nanocluster resist to obtain accurate resist roughness profiles
相关领域
抵抗 平版印刷术 材料科学 极紫外光刻 表面光洁度 表面粗糙度 光谱密度 光学 纳米技术 光电子学 复合材料 计算机科学 物理 电信 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.20.2.024601
DOI
10.1117/1.jmm.20.2.024601 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Joren Severi; Ulrich Welling; Danilo De Simone; Stefan De Gendt
出版日期：2021-05-28
求助人
zzz 在 2025-10-27 11:20:08 发布自天津，悬赏 20 积分
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