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 A novel capacitive-type humidity sensor using CMOS fabrication technology 一种采用互补金属氧化物半导体制造技术的新型电容式湿度传感器
相关领域
材料科学
电容感应
相对湿度
湿度
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期刊：Sensors and Actuators B Chemical 作者：Lei Gu; Qing‐An Huang; Ming Qin 出版日期：2004-02-29 |
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