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标题
A novel capacitive-type humidity sensor using CMOS fabrication technology
一种采用互补金属氧化物半导体制造技术的新型电容式湿度传感器
相关领域
材料科学 电容感应 相对湿度 湿度 制作 钝化 电介质 氮化硅 CMOS芯片 光电子学 聚酰亚胺 电极 电子工程 硅 图层（电子） 电气工程 复合材料 工程类 物理化学 病理 化学 物理 替代医学 热力学 医学
网址
https://doi.org/10.1016/j.snb.2003.12.060
DOI
10.1016/j.snb.2003.12.060 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators B Chemical
作者：Lei Gu; Qing‐An Huang; Ming Qin
出版日期：2004-02-29
求助人
stk 在 2025-07-22 22:48:21 发布自江苏，悬赏 10 积分
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