A novel capacitive-type humidity sensor using CMOS fabrication technology

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作者
Lei Gu,Qing‐An Huang,Ming Qin
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier BV]
卷期号:99 (2-3): 491-498 被引量:147
标识
DOI:10.1016/j.snb.2003.12.060
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