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 Review and current status: E ⇌ H mode transition in low-temperature ICP and related electron dynamics 回顾与现状：低温ICP中的E ü H模式转变及相关电子动力学
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Yu Mitsui; Toshiaki Makabe 出版日期：2021-02-01 |
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