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Gas-phase reactions of WF6with SiH4for deposition of WSinfilms free from powder formation WF6与SiH4气相反应沉积无粉末形成的WSIN薄膜
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Naoya Okada; Noriyuki Uchida; Shinichi Ogawa; Toshihiko Kanayama 出版日期:2019-03-14 |
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