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标题
Gallium flux induced etching of β-Ga2O3 in an LPCVD system
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00045...
DOI
10.1116/6.0004596 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Deepak Kumar; Amit Verma
出版日期：2025-08-08
求助人
奋斗的静竹 在 2026-08-26 11:27:27 发布自贵州，悬赏 10 积分
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