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标题
Investigation of Static Corrosion Between W Metals and TiN[sub x] Barriers in a W Chemical-Mechanical-Polishing Slurry
网址
https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/1.29073...
DOI
10.1149/1.2907394 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Chi-Cheng Hung; Ying-Lang Wang; Wen-Hsi Lee; Shih-Chieh Chang
出版日期：2008-05-28
求助人
科研求助111 在 2026-09-08 21:23:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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    科研求助111 科研求助111 Lv53 求助人 关闭了本次求助。

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    科研求助111 科研求助111 Lv53 求助人 发起了本次求助

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