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Room-temperature Au–Au die bonding of LiNbO₃ and Si in ambient air using O₂ plasma treatment and sequential pre-bond low-temperature heating process |
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期刊:Sensors and Actuators A: Physical 作者:Kosei Matsunobu; Ryo Takigawa 出版日期:2026-07-01 |
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(2025-6-4)