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Low‐Temperature Growth of Wafer‐Scale MoS 2 by Chemical Vapor Deposition Using MoO 2 Cl 2 Sources 相关领域
材料科学
二硫化钼
制作
光电子学
成核
化学气相沉积
钼
CMOS芯片
晶体管
薄膜晶体管
Crystal(编程语言)
过程(计算)
杂质
纳米技术
晶体生长
电子迁移率
场效应晶体管
纳米电子学
电子工程
半导体
沉积(地质)
金属浇口
熔点
图层(电子)
工作(物理)
工程物理
硫黄
实现(概率)
薄膜
溶解过程
集成电路
纳米线
电子线路
过程开发
金属
点(几何)
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期刊:Advanced Materials Technologies 作者:Chunchi Zhang; Xiangyu Chen; Jinxiu Liu; Xin Lu; Siran Tang; et al 出版日期:2025-12-16 |
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