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标题
Surface reaction of the hafnium precursor with a linked amido-cyclopentadienyl ligand: A density functional theory study
网址
DOI
10.1116/6.0000796 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science and Technology
作者:Romel Hidayat; Hye-Lee Kim; Hohoon Kim; Y. Byun; Jongsoo Lee; et al
出版日期:2021-03-23
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xia 在 2026-08-04 12:12:10 发布自上海,悬赏 10 积分
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