Application of Self-aligned Quadruple Patterning to Fabrication of Nanoimprint Mold with Sub-12-nm Half-pitch

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标题	Application of Self-aligned Quadruple Patterning to Fabrication of Nanoimprint Mold with Sub-12-nm Half-pitch 相关领域材料科学纳米压印光刻蚀刻（微加工）抵抗制作电子束光刻图层（电子）纳米光刻原子层沉积干法蚀刻平版印刷术纳米技术模具栅栏心轴光电子学下一代光刻复合材料替代医学病理医学
网址	https://doi.org/10.2494/photopolymer.37.475 AI链接 go.jpdoi.org
DOI	10.2494/photopolymer.37.475 doi
其它	期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology 作者：Kenta Suzuki; Tetsuya Ueda; Hiroshi Hiroshima; Yasuhiko Hayashi 出版日期：2024-06-25
求助人	王鑫在 2026-05-06 10:14:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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