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CATS SmartFracture: a new fracture engine for curvilinear and multigon mask data input |
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期刊:Photomask Technology 2024 作者:Kokoro Kato; Satoshi Mitsuno; Kuninori Nishizawa; Ken Kuo; Johnny Yeap; et al 出版日期:2024 |
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(2025-6-4)