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 Development of an ultraprecise glue-free bimorph deformable mirror with a length of 460 mm 相关领域
双晶片
材料科学
锆钛酸铅
变形镜
光学
电极
复合材料
梁（结构）
环氧树脂
基质（水族馆）
制作
硅
再现性
蚀刻（微加工）
光电子学
分层（地质）
胶粘剂
波前
薄膜
机械加工
吸收（声学）
电容器
微电子机械系统
电压
均方根
铁电性
衰减系数
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