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 Design, fabrication, and evaluation of a biologically-inspired piezoelectric MEMS microphone with in-plane directivity 相关领域
指向性
微电子机械系统
话筒
制作
压电
声学
平面（几何）
计算机科学
工程类
材料科学
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电气工程
物理
医学
扬声器
数学
替代医学
几何学
病理
天线（收音机）
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