Optimised magnetron sputtering method for the deposition of indium tin oxide layers

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标题	Optimised magnetron sputtering method for the deposition of indium tin oxide layers 磁控溅射沉积氧化铟锡层的优化方法相关领域锡溅射沉积材料科学氧化铟锡沉积（地质）铟腔磁控管冶金溅射光电子学图层（电子）薄膜纳米技术地质学古生物学沉积物
网址	http://journals.pan.pl/Content/121318/PDF-MASTER/Z_29_02431_...
DOI	10.24425/bpasts.2021.139005 doi
其它	期刊：Bulletin of The Polish Academy of Sciences-technical Sciences 作者：出版日期：2023-11-15
求助人	miao 在 2024-04-02 21:46:20 发布自江苏，悬赏 10 积分
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