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 Improvement of plasma uniformity and mechanical properties of Cr films deposited on the inner surface of a tube by an auxiliary anode near the tube tail 相关领域
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期刊：Plasma Science and Technology 作者：Houpu Wu; Xiubo Tian; Linlin Zheng; Chunzhi Gong; Peng Luo 出版日期：2022-02-23 |
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