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标题
Size-controlled fabrication of silicon nanopore arrays by silver-assisted chemical etching
相关领域
纳米孔 蚀刻（微加工） 材料科学 反应离子刻蚀 硅 纳米技术 各向同性腐蚀 制作 黑硅 光电子学 图层（电子） 医学 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0264413
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0264413 doi
其它 期刊：Journal of Chemical Physics
作者：Yuxin Cheng; Qinglong Luo; Junjie Hong; Silu Feng; Zhishan Yuan; et al
出版日期：2025-05-01
求助人
静心 在 2026-01-15 20:59:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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