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 Ferroelectric ZrO2 ultrathin films on silicon for metal-ferroelectric-semiconductor capacitors and transistors 用于金属-铁电-半导体电容器和晶体管的硅上铁电ZrO2超薄膜
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期刊：Journal of The European Ceramic Society 作者：Yu-Sen Jiang; Kuei-Wen Huang; Sheng-Han Yi; Chin-I Wang; Teng-Jan Chang; et al 出版日期：2022-07-01 |
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