Improvement of dry etch-induced surface roughness of single crystalline β-Ga2O3 using post-wet chemical treatments

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标题	Improvement of dry etch-induced surface roughness of single crystalline β-Ga2O3 using post-wet chemical treatments 湿化学后处理改善单晶β-Ga2O3干法刻蚀表面粗糙度相关领域氢氧化铵溶解表面粗糙度过氧化氢氧化物化学感应耦合等离子体硫酸蚀刻（微加工）氢氢氧化物湿法清洗分析化学（期刊）材料科学无机化学图层（电子）等离子体色谱法复合材料有机化学物理量子力学
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S01694...
DOI	10.1016/j.apsusc.2019.144673 doi
其它	不要SCI-HUB上的初稿形式
求助人	Chen_Sam 在 2025-11-19 23:13:35 发布自广东，悬赏 10 积分
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