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标题
Calibration of Compact Resist Model Through CNN Training
通过CNN训练校准紧凑抗蚀剂模型
相关领域
抵抗 卷积（计算机科学） 核（代数） 计算机科学 初始化 卷积神经网络 人工智能 模式识别（心理学） 像素 算法 校准 人工神经网络 图层（电子） 数学 统计 组合数学 有机化学 化学 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1109/tsm.2023.3267670
DOI
10.1109/tsm.2023.3267670 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Yonghwi Kwon; Youngsoo Shin
出版日期：2023-04-17
求助人
共享精神 在 2025-12-29 13:30:52 发布自广东，悬赏 10 积分
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