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 Radio frequency or microwave plasma reactors? Factors determining the optimum frequency of operation 射频还是微波等离子体反应器？决定最佳操作频率的因素
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Michel Moisan; C. Barbeau; R. Claude; C. M. Ferreira; J. Margot; et al 出版日期：1991-01-01 |
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