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标题
Iterative Learning-Based Predictive Control Method for Electronic Grade Silicon Single Crystal Batch Process
基于迭代学习的电子级单晶间歇过程预测控制方法
相关领域
迭代学习控制 模型预测控制 控制理论（社会学） 批处理 观察员（物理） 国家观察员 过程（计算） 过程控制 计算机科学 控制工程 补偿（心理学） 温度控制 工程类 控制（管理） 人工智能 非线性系统 心理学 物理 量子力学 精神分析 程序设计语言 操作系统
网址
https://doi.org/10.1109/tsm.2023.3266220
DOI
10.1109/tsm.2023.3266220 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Yin Wan; Ding Liu; Jun-Chao Ren
出版日期：2023-05-01
求助人
止观 在 2025-06-12 17:38:04 发布自天津，悬赏 10 积分
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