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标题
Surface etching evolution of mechanically polished single crystal diamond with subsurface cleavage in microwave hydrogen plasma: Topography, state and electrical properties
微波氢等离子体中具有亚表面解理的机械抛光单晶金刚石的表面刻蚀演化：形貌、状态和电学性质
相关领域
钻石 劈理（地质） 微波食品加热 材料科学 蚀刻（微加工） 等离子体刻蚀 单晶 等离子体 氢 纳米技术 化学 结晶学 复合材料 有机化学 图层（电子） 物理 量子力学 断裂（地质）
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.110932
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.110932 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Yuting Zheng; Yanwei Jia; Jinlong Liu; Junjun Wei; Liangxian Chen; et al
出版日期：2022-02-02
求助人
madmax 在 2025-05-03 12:31:29 发布自河北，悬赏 10 积分
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