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 Design and optimization of stress/strain in GAA nanosheet FETs for improved FOMs at sub-7 nm nodes 亚7 nm节点改进FOMs的GAA纳米片场效应晶体管应力/应变的设计与优化
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期刊：Physica Scripta 作者：E. Mohapatra; Devika Jena; Soumyadeep Das; CK Maiti; Taraprasanna Dash 出版日期：2023-04-24 |
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