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 Transmission electron microscopy studies of microstructural evolution, defect structure, and phase transitions in polycrystalline and epitaxial Ti1−xAlxN and TiN films grown by reactive magnetron sputter deposition 反应磁控溅射沉积多晶和外延Ti1-xAlxN和TiN薄膜的微观结构演变、缺陷结构和相变的透射电子显微镜研究
相关领域
材料科学
微晶
透射电子显微镜
锡
位错
外延
溅射沉积
分析化学（期刊）
溅射
腔磁控管
等轴晶
薄膜
结晶学
微观结构
冶金
复合材料
化学
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