Species transport and chemical reaction in a MOCVD reactor and their influence on the GaN growth uniformity

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标题	Species transport and chemical reaction in a MOCVD reactor and their influence on the GaN growth uniformity
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2016.09.010
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2016.09.010 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Zhi Zhang; Haisheng Fang; Qingxia Yao; Han Yan; Zhiyin Gan 出版日期：2016-11-01
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