Analysis of the combined mode resonance in aluminum nitride MEMS resonators

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标题	Analysis of the combined mode resonance in aluminum nitride MEMS resonators
网址	http://dx.doi.org/10.17760/d20195508
DOI	10.17760/d20195508 doi
求助人	正在输入中在 2026-10-07 18:05:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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