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标题
Deposition Uniformity Control in a Commercial Scale HTO-CVD Reactor
网址
https://doi.org/10.1557/proc-0989-a08-08
DOI
10.1557/proc-0989-a08-08 doi
其它 期刊：MRS Proceedings
作者：Shigeru Sakai; Masaaki Ogino; Ryōsuke Shimizu; Yukihiro Shimogaki
出版日期：2007-01-01
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