Effect of focus ring with external circuit on cathode edge sheath dynamics in a capacitively coupled plasma

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标题	Effect of focus ring with external circuit on cathode edge sheath dynamics in a capacitively coupled plasma
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002496
DOI	10.1116/6.0002496 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Yuhua Xiao; Joel Brandon; Joshua Morsell; Sang Ki Nam; Kiho Bae; et al 出版日期：2023-04-20
求助人	dreamer 在 2026-10-15 14:08:39 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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