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标题
Heterogeneous integration of amorphous silicon carbide on thin film lithium niobate
铌酸锂薄膜上非晶碳化硅的异质集成
相关领域
铌酸锂 材料科学 光子学 制作 碳化硅 无定形固体 谐振器 硅光子学 干法蚀刻 光电子学 蚀刻（微加工） 纳米技术 复合材料 图层（电子） 化学 医学 病理 有机化学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0228408
AI链接 doi.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0228408 doi
其它 期刊：APL photonics
作者：Zizheng Li; Naresh Sharma; Bruno Lopez-Rodriguez; Roald van der Kolk; Thomas Scholte; et al
出版日期：2025-01-01
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充电宝 在 2025-12-06 13:28:10 发布自河北，悬赏 10 积分
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