Optimizing the Smoothness and Thickness Uniformity of Thin-Film Parylene-N Vapor-Deposited Coatings for Inertial Confinement Fusion Experiments

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标题	Optimizing the Smoothness and Thickness Uniformity of Thin-Film Parylene-N Vapor-Deposited Coatings for Inertial Confinement Fusion Experiments 优化用于惯性约束聚变实验的聚对二甲苯-N薄膜气相沉积涂层的光滑度和厚度均匀性
网址	https://doi.org/10.1080/15361055.2025.2540201
DOI	10.1080/15361055.2025.2540201 doi
其它	期刊：Fusion Science & Technology 作者：Ian P. Knudsen; D. R. Harding 出版日期：2025-09-23
求助人	Dellamoffy 在 2025-12-24 20:01:32 发布自中国，悬赏 30 积分
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