Atomic-scale simulation of ultrasonic vibration-assisted polishing process for graphene/GaN-layered composites

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标题	Atomic-scale simulation of ultrasonic vibration-assisted polishing process for graphene/GaN-layered composites 石墨烯/GaN层状复合材料超声振动辅助抛光过程的原子级模拟相关领域材料科学抛光复合材料振动超声波传感器原子单位石墨烯化学机械平面化声学纳米技术物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108323
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108323 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Haonan He; Tinghong Gao; Yutao Liu; Qian Chen; Quan Xie; et al 出版日期：2024-06-01
求助人	同志同志在 2025-12-17 22:11:01 发布自湖南，悬赏 10 积分
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