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 Ultra-Low-Loss PECVD SiN Photonic Platforms At Telecom Wavelengths: Comparison Between Modeling and Experimental Results 相关领域
表面粗糙度
表面光洁度
光子学
退火（玻璃）
波长
电子工程
振幅
光电子学
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
硅光子学
传输损耗
光学
吸收（声学）
材料性能
化学气相沉积
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