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 Surface and interfacial energies of CoSi 2 and Si films: Implications regarding formation of three-dimensional silicon-silicide structures CoSi 2和Si薄膜的表面和界面能：对三维硅-硅化物结构形成的影响
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期刊：IBM Journal of Research and Development 作者：K. N. Tu 出版日期：2010-04-05 |
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