Relative sputtering rates of oxides and fluorides of aluminum and yttrium

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标题	Relative sputtering rates of oxides and fluorides of aluminum and yttrium
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.11.007
DOI	10.1016/j.surfcoat.2016.11.007 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Dae-Min Kim; Mi-Ran Jang; Yoon-Suk Oh; Seongwon Kim; Sung-Min Lee; et al 出版日期：2016-11-07
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