UV Cure Enabled Robust STI Oxide Gap Fill Solution for Thermally Limited Flow in Advanced Logic Devices

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标题	UV Cure Enabled Robust STI Oxide Gap Fill Solution for Thermally Limited Flow in Advanced Logic Devices
网址	http://dx.doi.org/10.1149/ma2016-02/27/1835
DOI	10.1149/ma2016-02/27/1835 doi
其它	期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Sanjay C Mehta; Richard Conti; Thamarai Devarajan; Matthew P Wright; Yiping Yao; et al 出版日期：2016-09-01
求助人	水水水水试试在 2026-08-20 12:13:20 发布自广东，悬赏 10 积分
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