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标题
Integrated Tungsten Chemical Mechanical Polishing Process Characterization for Via Plug Interconnection in Ultralarge Scale Integrated Circuits
网址
http://dx.doi.org/10.1143/jjap.41.5120
DOI
10.1143/jjap.41.5120 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Chin-Kun Wang; Hua-Shu Wu; Nai-Tien Ou; Huang-Chung Cheng
出版日期：2002-08-15
求助人
Marco 在 2026-07-16 11:37:33 发布自江苏，悬赏 10 积分
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