Dry etching-assisted femtosecond laser fabrication of silicon-based microlens arrays

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标题	Dry etching-assisted femtosecond laser fabrication of silicon-based microlens arrays
网址	https://doi.org/10.1117/12.3093523
DOI	10.1117/12.3093523 doi
其它	期刊：作者：Bohan Li; Haijuan Cheng; Guanghua Wang; Yonghua Yang; Fan Fan; et al 出版日期：2025-11-07
求助人	流浪在 2026-09-15 23:21:22 发布自荷兰，悬赏 20 积分
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