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[高分] Essential high-purity sealing materials for semiconductor manufacturing
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网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S135047891...
DOI
10.1016/s1350-4789(18)30284-8 doi
其它 期刊：Sealing Technology
作者：S. Atkinson
出版日期：2018-07-01
求助人
roryt 在 2026-08-26 09:48:10 发布自中国，悬赏 50 积分
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