| 标题 |
Physics-based dry metal-oxide-resist simulations |
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| DOI |
10.1117/12.3089541
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| 其它 |
期刊:Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者:Yichi Zhang; Monica Mathur; Samantha Tan 出版日期:2026-04-09 |
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(2025-6-4)