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标题
Analyses and Modeling of a Wet-Chemical-Etch Process on Rotating Silicon Wafers with an Impinging Etchant Jet
网址
http://dx.doi.org/10.1149/1.3090176
DOI
10.1149/1.3090176 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：F. Staudegger; M. W. Hofbaur; H.-J. Kruwinus
出版日期：2009-01-01
求助人
zwj 在 2026-09-16 22:11:14 发布自福建，悬赏 10 积分
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  • 3小时前

    zwj zwj Lv5 求助人 发起了本次求助

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