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 Scan angle error measurement based on phase-stepping algorithms in scanning beam interference lithography 相关领域
光学
栅栏
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病理
医学
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| DOI |
10.1364/ao.58.002641
doi
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期刊：Appl Opt 作者：Li M, Xiang X, Zhou C, Wei C 出版日期：2019-04-01 |
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