Mechanically Coupled Contour Mode Piezoelectric Aluminum Nitride MEMS Filters

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标题	Mechanically Coupled Contour Mode Piezoelectric Aluminum Nitride MEMS Filters
网址	http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.2006.1627947
DOI	10.1109/MEMSYS.2006.1627947 doi
求助人	123 在 2026-06-25 14:55:59 发布自福建，悬赏 10 积分
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