Synergetic effect of chelating agent and nonionic surfactant for benzotriazole removal on post Cu-CMP cleaning

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标题	Synergetic effect of chelating agent and nonionic surfactant for benzotriazole removal on post Cu-CMP cleaning
网址	https://doi.org/10.1088/1674-4926/37/8/086001
DOI	10.1088/1674-4926/37/8/086001 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Yanlei Li; Yuling Liu; Chenwei Wang; Yue Li 出版日期：2016
求助人	舒心易烟在 2026-05-28 16:09:47 发布自上海，悬赏 10 积分
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