Finishing of Rough Sidewalls of a Silicon-on-Insulator Nano-Optical Waveguide Using Laser Surface Melting

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标题	Finishing of Rough Sidewalls of a Silicon-on-Insulator Nano-Optical Waveguide Using Laser Surface Melting
网址	https://doi.org/10.1007/s11223-021-00328-5
DOI	10.1007/s11223-021-00328-5 doi
其它	期刊：Strength of Materials 作者：Z. L. Peng; C. G. Zhou 出版日期：2021
求助人	guojingjing 在 2026-05-29 12:50:46 发布自福建，悬赏 10 积分
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