发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
已完结
  • 文献求助详情
标题
Plasma enhanced atomic layer deposition and atomic layer etching of gallium oxide using trimethylgallium
相关领域
三甲基镓 原子层沉积 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 原子层外延 材料科学 镓 等离子体刻蚀 图层（电子） 分析化学（期刊） 干法蚀刻 化学 纳米技术 外延 金属有机气相外延 冶金 色谱法
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001871
DOI
10.1116/6.0001871 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Kevin Hatch; D. C. Messina; R. J. Nemanich
出版日期：2022-06-22
求助人
77 在 2026-06-01 16:57:52 发布自福建，悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
关注科研痛点，打通你的七经六脉
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
awa606发布了新的文献求助10
3秒前
13秒前
JamesPei的应助被酷炫的大碗采纳，获得10
14秒前
23秒前
25秒前
369ninja发布了新的文献求助10
31秒前
43秒前
49秒前
54秒前
56秒前
abdo完成签到，获得积分10
57秒前
awa606发布了新的文献求助10
59秒前
1分钟前
eeevaxxx完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
didididm发布了新的文献求助10
1分钟前
Hello的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
Copyright的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
852的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
Copyright的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
淡淡的雨文完成签到，获得积分10
1分钟前
1分钟前
负责惊蛰完成签到 ，获得积分10
1分钟前
乐乐的应助被didididm采纳，获得30
1分钟前
1分钟前
1分钟前
2分钟前
awa606发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
369ninja发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
21完成签到，获得积分10
2分钟前
成德发布了新的文献求助10
2分钟前
3分钟前
SciGPT的应助被awa606采纳，获得10
3分钟前
默天完成签到 ，获得积分10
3分钟前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition 10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition 10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Arthritis and Related Conditions, An Issue of Orthopedic Clinics 1000
Development of a Bridge Weigh-In-Motion System: A technology to convert the bridge response to the passage of traffic into data on vehicle configurations, speeds, times of travel and weights 1000
ズームレンズの光学設計に関する研究 800
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition 700
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7289688
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8909091
关于积分的说明 18856400
捐赠科研通 6957764
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3209064
关于科研通互助平台的介绍 2378801
邀请新用户注册赠送积分活动 2184817
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通